该蒸汽清洗是专用于很难用液体清洗的场合。是将含有缓蚀剂的清洗剂注射到蒸汽中，然后按一定速度使其通过设备。因此，即使是很难接触到的部位也都能得到清洗。蒸汽清洗技术也可有效地用作设备的中和与钝化。